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    無塵室等級標準

    來源:上海有盛凈化科技有限公司  發布時間:2015-05-22  點擊:

    依據美國聯邦政府頒布的標準[Federal Standard (FS) 209E, 1992],可將無塵室分為六級。

    分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。

    如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5μm,例如,1級、10級、100無塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。

    例如:10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75/立方英),1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35/立方英)而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。

    為保持無塵室的潔凈度,進出的人員有一定的穿著規定;10000100000級,必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000()以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,并帶上手套和面罩,下表為無塵室清潔度的定義:
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    所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔靜度的需求,在工業上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。

    由于奈米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。


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